可见光谱椭偏仪
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- 可见光谱椭偏仪
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产品详细介绍
- プッシュボタン感覚で、1nm～15μmの膜厚範囲の単層膜から多層膜までのサンプル測定が可能です。
- 波長450nm-1000nmをカバーしたデータ採取により、薄膜の膜厚、光学定数（屈折率、消衰係数）などの物質特性を精度良く測定します。
- 誘電体や有機薄膜など様々な材料の測定が可能です。
- イメージングシステム“MyAutoViewTM”を搭載し、サンプル表面状態や測定スポットの厳密な位置確認が可能です。
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測定方式 |
液晶変調方式 |
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光源 |
ハロゲンランプおよび青色LED |
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波長範囲 |
450nm-1000nm |
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分光器 |
迷光を最小に抑えた小型スペクトログラフ（分解能：3nm以下） |
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検出器 |
高感度・高安定リニアＣＣＤ（2048ピクセル） |
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入射角度 |
70度固定 （45度-90度の範囲より5度刻みで変更可） |
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スポットサイズ（70度入射時） |
75μm X 150μm, 100μm X 250μm, 100μm X 500μm,150μm X 150μm, 250μm X 250μm, 250μm X 500μm,500μm X 500μm ※いずれも長方形 |
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サンプルステージ |
直径200mmまでのサンプルに対応 |
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サンプル観察系 |
イメージングシステム MyAutoViewTM
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操作PC |
デスクトップPC、TFTモニタ |
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ソフトウェア |
分光エリプソメータ測定およびデータ解析用DeltaPsi2 |
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装置寸法（操作PC除く） |
装置本体：W840mm×D230mm×H340mm@70度入射 |
オプション
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電動ゴニオメータ |
入射角度の電動可変（可変範囲：45度-90度） |
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電動X-Yステージ |
200mmウェハ、もしくは 300mmウェハ対応 |
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In-Situ測定用アダプタ |
プロセスチャンバー取付用フランジ |
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アクセサリ |
温度可変測定用ステージ、溶液測定用セル |
必要ユーティリティ
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電源 |
AC100V±5%未満 （標準消費電力：200W） |
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