全自动薄膜测量设备
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产品详细介绍
- 非破壊・非接触による測定
- ミューラー行列全16要素測定による薄膜特性評価
- カラービジョンシステムによる厳密な測定位置の確認
- 7種類の電動可変マイクロスポットによる100μm角以下の微小領域測定
- 電動XYZステージによる高速面内分布測定
- 初心者でも簡単に測定・評価できる豊富なアプリケーションデータベース
- 日本語対応の専用ソフトウェア
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光源 |
ハロゲンランプおよび青色ＬＥＤ |
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波長範囲 |
450nm-1000nm |
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スポットサイズ |
500μm X 500μm, 250μm X 500μm, 250μm X 250μm, |
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検出器 |
高感度CCD |
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サンプルステージ |
XYZ電動可変、真空吸着機構、 |
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サンプル観察系 |
CCDカメラ、ソフトウェアにてスポット位置確認 |
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入射角度 |
70度固定(66度固定も選択可) |
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操作PC |
デスクトップタイプ |
オプション
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光源 |
Xeランプユニット(100μm以下のスポット使用時に推奨) |
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アクセサリ |
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必要ユーティリティ
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電源 |
AC100V+/-5%未満 |
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真空源 |
サンプル吸着用(必要なお客様のみ) |