便携式DO监测
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- 便携式DO监测
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ポータブルで高感度だから、使いやすくて高性能
半導体分野における超純水中のDO濃度の高精度測定・モニタを実現
半導体の集積度が増加する傾向から、ウエハの洗浄に用いられる超純水の水質向上が求められています。中でも、超純水に含まれる微量な溶存酸素(DO)はウエハ表面の酸化膜形成の要因といわれ、その低減要望が非常に強くなってきています。そこでHORIBAは超純水中のDO濃度を高精度・高速に測定するDO モニタSD-300を開発。高感度シリカモニタやパーティクルセンサとともにお使いいただける、超純水製造ラインでの水質モニタリングに最適な製品です。またポータブルサイズで持ち運びやすいため、どのような現場にもフィットします。
- どんな現場でも使いやすいポータブルサイズ
小型、ポータブル。持ち運びやすいデザインです。 - ワイドレンジで、かつ高感度な測定を実現
測定レンジは、0〜20μg/L、0〜200μg/L、0〜2mg/L、0〜20mg/Lの4レンジから選択できます。 - 高速応答を実現
- フラットパネルを採用し、クリーンルーム内の使用にも最適
- センサは内部液交換タイプで長寿命
- アナログ・シリアル出力を標準装備
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測定対象 |
溶存酸素 |
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測定方式 |
隔膜型ポーラログラフ式 |
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測定レンジ |
0〜20μg/L , 0〜200μg/L , 0〜2mg/L , 0〜20mg/L |
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応答速度 |
30s/90%(試料水温度20℃以上において) |
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繰返し性 |
フルスケールの±1% |
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温度補償範囲 |
5〜50℃ |
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試料水条件 |
温度 |
2〜50℃ |
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圧力 |
0.02〜0.2MPa |
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流量 |
0.2〜0.4L/min |
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外部出力 |
アナログ出力 |
DC 4〜20mA または DC 0〜16mA 絶縁型出力 負荷抵抗 最大500Ω |
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接点出力 |
A接点出力 接点容量 DC24V, 0.1A |
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シリアル出力 |
RS-232C 1方向出力 |
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校正方法 |
ゼロ |
簡易ゼロ校正またはゼロ液による校正 |
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スパン |
大気校正 |
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周囲温度・湿度 |
0〜45℃、85%以下 |
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電源 |
AC 100V ±15%, 50/60Hz (AC 264Vまで可能) |
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消費電力 |
約50VA (AC 100Vの場合) |
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外形寸法 |
296(W)×110(H)×258(D) mm(操作部のみ) |
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質量 |
約3.4kg(操作部のみ) |
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操作部−センサ間 延長ケーブル長 |
5m(標準), 10m(オプション) |
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