能量分散型X射线分析仪

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  • 能量分散型X射线分析仪
  • HORIBA堀場
  • EX-270
  • 日本
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产品详细介绍

 

特長

  • 短時間で「最適」分析
    最適データに達した時点で解析を終了させる、全く新しい分析手順を実現。
    スペクトルを収集しながら定量も行えるリアルタイム分析が可能です。
  • より正確・迅速な解析
    正確な結果がリアルタイムで得られる TruMap、TruLine、オートレイヤーで、正確・迅速な解析を実現。
    次世代検出器に最適化された定量アルゴリズムを搭載。
  • 大きく進化した操作環境
    初心者から上級者まで多様なユーザーに使いやすさを提供します。
    マルチタスクを実現し、測定しながらデータ確認、レポート作成、プリントアウトを行う事ができます。

仕様

 
 

■形式

EX-270

EX-370

EX-470

■検出器部

◎検出器/分解能

x-act検出器(標準)

130eV

130eV

130eV

x-act検出器(プレミアム)

127eV

127eV

127eV

X-Max検出器(標準:20、50、80mm2

127eV

127eV

127eV

 X-Max検出器(プレミアム:20、50、80mm2

124eV

124eV

124eV

■機能比較

◎アナライザ

自動定性、KLMマーカ

ピークプロファイルの表示

定量

スペクトル比較

◎ポイント&ID

分析エリア自動収集/スペクトル再構成
(全範囲、ポイント、短形、楕円、自由)

◎マップ

スマートマップ

部分マッピング

画像合成(レイヤー)

TruMap

オートレイヤー

ラインスキャン

TruLine

オートロック(ドリフト補正)

◎広域自動分析(オートメート)※1

◎広域マッピング(モンタージュ)※1

◎自動粒子解析(フューチャー)※1

 ▲オプション 

 

※1:SEM側に別途オートステージ・通信機能が必要です。対応SEMの型式をご確認ください。広域マッピング(モンタージュ)には広域自動分析(オートメート)が必要です。EMAX ENERGYソフトにて対応します。
※記載の商品名及び社名はそれぞれ各社の商標または登録商標です。
※Microsoft Wordは製品に含まれていません。